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在现实中，除了要尽力追求衍射的极限，还要严格控制像差。...
光刻机光学设计难题一：追求衍射极限...
光刻不难，难的是更精确地光刻。...
在通讯和网络相关领域中，芯片起着至关重要的作用。由于众所周知的原因，大众对于芯片制造行业越来越关注。...
涂胶/显影设备是在光刻工艺中与光刻机配合作业的重要设备。...
作为一种用于制造集成电路芯片的设备，光刻机对我国的重要作用是不言而喻的。...
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