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AMAT二手金属化学气相沉积设备Centura AP ISPRINT

发布日期:2022-06-29

AMAT二手金属化学气相沉积设备Centura AP ISPRINT,针对于300nm晶圆,主机类型为Centura AP,工艺采用WCVD,拥有4个腔室,3个装载端口。

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