PAS 5500/350C 是一款深紫外步进器,适用于 0.15-μm 及以上的应用。高生产率和低拥有成本也允许现有DUV步进晶圆厂的产能扩展。当与其他ASML PAS 5500 i-line和DUV 步进器结合使用时,PAS 5500/350C 系统提供了极具成本效益的混合和匹配光刻解决方案。
PAS 5500/350C 是一款深紫外步进器,适用于 0.15-μm 及以上的应用。高生产率和低拥有成本也允许现有DUV步进晶圆厂的产能扩展。当与其他ASML PAS 5500 i-line和DUV 步进器结合使用时,PAS 5500/350C 系统提供了极具成本效益的混合和匹配光刻解决方案。