ASML PAS 5500/300C每小时能够处理 88 个（200 毫米）晶圆。
光刻机包含一个 AERIAL 照明器，可扩展超过 0.25 µm，而不会影响出色的成像，性能和高生产率。步进器具有可变 NA (0.40-0.57) 和分辨率 < 250 nm。
ASML PAS 5500/300C每小时能够处理 88 个（200 毫米）晶圆。
光刻机包含一个 AERIAL 照明器，可扩展超过 0.25 µm，而不会影响出色的成像，性能和高生产率。步进器具有可变 NA (0.40-0.57) 和分辨率 < 250 nm。
