ASML 通过将 NXT:1950i 上的系统吞吐量提高 15%–20% 来解决光刻成本问题。性能增强包 PEP NXT:1950i 包括硬件和软件改进，将 NXT:1950i 的产量从每小时 175 片 125 片的晶圆增加到 200 片，甚至每小时 96 片的 230 片晶圆。
ASML 通过将 NXT:1950i 上的系统吞吐量提高 15%–20% 来解决光刻成本问题。性能增强包 PEP NXT:1950i 包括硬件和软件改进，将 NXT:1950i 的产量从每小时 175 片 125 片的晶圆增加到 200 片，甚至每小时 96 片的 230 片晶圆。
