现有二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7一台,价格大约$650,000左右,针对4寸/6寸晶圆,分辨率0.6 um um L&S。
Nikon光刻机NSR-1755 i7用于集成电路生产过程中的微光刻工艺,通过投影成像方式,把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。
光刻机NSR-1755 i7含有硅片自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩模光栏、自动调焦调平、硅片自动对准、掩模板自动对准、镜头倍率及焦点自动控制、曝光能量的自动补整、腔体温度环境控制、故障显示报警等先进功能。
光刻机NSR-1755 i7B型投影光刻机基本工作过程:把曝光掩模和硅片分别装入掩模库和硅片承载台以后;通过操作设备的控制系统,使设备按照所需设定的制作程序自动完成掩模、硅片的传递交换,并根据生产工艺需要进行自动对准、自动调焦调平、自动分步曝光等工作过程。
参数介绍
主机部分 | ||
序号 | 名称 | 主要参数 |
1、 | 投影镜头 | 5:01 |
2、 | 照明系统 | I 线汞灯 |
3、 | 自动调焦调平系统 | |
4、 | 掩模对准系统 | TTL 对准方式 |
5、 | 硅片对准系统 | LSA 对准方式 |
6、 | 激光干涉仪测量系统 | HP 激光测长 |
7、 | X-Y 工作台 | |
8、 | 承片台 | 4 寸或6寸晶圆的自动传输,吸盘为陶瓷材质,手臂为陶瓷材质。 |
9、 | 硅片传输系统 | 4 或6寸手动切换 |
10、 | 掩模传输系统 | 5inch 结构 |
11、 | 净化恒温腔室 | 内部环境控制及动力控制 |
控制柜部分 | ||
序号 | 名称 | 用途 |
1、 | 工作台控制单元 | 控制工作台按照产品工艺规划运动 |
2、 | 激光干涉仪计数器 | 测量工作台运动位置 |
3、 | 掩模对准控制单元 | 掩模版位置检测 |
4、 | 镜头控制单元 | 镜头倍率及焦点跟踪控制 |
5、 | 晶圆传输控制单元 | 晶园的传递、预定位、交换等过程控制 |
6、 | 掩模传输控制单元 | Reticle 管理、预定位、交换等过程控制 |
7、 | 恒温腔体控制单元 | 整机电源、内部净化、温度等检测控制 |
8、 | 操作台 | 主控过程人机操作界面 |
9、 | 计算机系统 | 整机主控计算机和系统控制应用程序 |
10、 | CRT (监视器) | 图形和控制界面显示 |
11、 | ITV 控制器 | 用于对准过程检测和手动辅助操作 |
运输与保管
合同设备各部分重量:主机重量(净重)2500Kg,控制柜重量 500Kg,变压器重量 290Kg。
合同设备运输采用半导体专用设备减震车运输。
合同设备对环境要求:温度控制在19~24℃之间,湿度小于 70%。
用户在收到合同设备及其附件后,应即刻运送存放在满足温度、湿度要求的厂房内,切勿露天或在温湿度不受控的环境存放。
合同设备在运输过程中,应避免冲击和震动,轻搬轻放。严格要求具有防振、减震措施,搬运过程中振动不大于 1G。
二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7价格大约65万美金左右,更多详细参数和技术修改以及方案对接,请咨询我们进行详谈。