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二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7

发布日期:2022-05-16

现有二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7一台,价格大约$650,000左右,针对4寸/6寸晶圆,分辨率0.6 um um L&S

Nikon光刻机NSR-1755 i7用于集成电路生产过程中的微光刻工艺,通过投影成像方式,把掩模版上集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面。

光刻机NSR-1755 i7含有硅片自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩模光栏、自动调焦调平、硅片自动对准、掩模板自动对准、镜头倍率及焦点自动控制、曝光能量的自动补整、腔体温度环境控制、故障显示报警等先进功能。

二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7

光刻机NSR-1755 i7B型投影光刻机基本工作过程:把曝光掩模和硅片分别装入掩模库和硅片承载台以后;通过操作设备的控制系统,使设备按照所需设定的制作程序自动完成掩模、硅片的传递交换,并根据生产工艺需要进行自动对准、自动调焦调平、自动分步曝光等工作过程。

参数介绍

主机部分
序号 名称 主要参数
1、 投影镜头 5:01
2、 照明系统 I 线汞灯
3、 自动调焦调平系统
4、 掩模对准系统 TTL 对准方式
5、 硅片对准系统 LSA 对准方式
6、 激光干涉仪测量系统 HP 激光测长
7、 X-Y 工作台
8、 承片台 4 寸或6寸晶圆的自动传输,吸盘为陶瓷材质,手臂为陶瓷材质。
9、 硅片传输系统 4 或6寸手动切换
10、 掩模传输系统 5inch 结构
11、 净化恒温腔室 内部环境控制及动力控制
控制柜部分
序号 名称 用途
1、 工作台控制单元 控制工作台按照产品工艺规划运动
2、 激光干涉仪计数器 测量工作台运动位置
3、 掩模对准控制单元 掩模版位置检测
4、 镜头控制单元 镜头倍率及焦点跟踪控制
5、 晶圆传输控制单元 晶园的传递、预定位、交换等过程控制
6、 掩模传输控制单元 Reticle 管理、预定位、交换等过程控制
7、 恒温腔体控制单元 整机电源、内部净化、温度等检测控制
8、 操作台 主控过程人机操作界面
9、 计算机系统 整机主控计算机和系统控制应用程序
10、 CRT (监视器) 图形和控制界面显示
11、 ITV 控制器 用于对准过程检测和手动辅助操作

运输与保管

合同设备各部分重量:主机重量(净重)2500Kg,控制柜重量 500Kg,变压器重量 290Kg。

合同设备运输采用半导体专用设备减震车运输。

合同设备对环境要求:温度控制在19~24℃之间,湿度小于 70%

用户在收到合同设备及其附件后,应即刻运送存放在满足温度、湿度要求的厂房内,切勿露天或在温湿度不受控的环境存放。

合同设备在运输过程中,应避免冲击和震动,轻搬轻放。严格要求具有防振、减震措施,搬运过程中振动不大于 1G


二手尼康Nikon翻新现货 光刻机NSR-1755 i7价格大约65万美金左右,更多详细参数和技术修改以及方案对接,请咨询我们进行详谈。

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