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断供DUV光刻机:ASML的苦日子在后头,国内要靠自己了

发布日期:2022-12-12

在向中国出口DUV光刻机的问题上,荷兰ASML曾经左右摇摆,但如今风向转的太快,荷兰最终也没有顶住美国的压力,荷兰最终还是选择了断供DUV光刻机。

12月8日,凤凰财经就有消息称,受到美国压力,荷兰最大芯片商限制对华出口。

而后据外媒体援引与会人士的消息,2022年12月9日,美国与荷兰拟议中的对华半导体出口管制谈判结果初定。荷兰已同意与美国加强合作,共同限制中国企业取得先进芯片技术的管道,把对中国半导体的出口管制法规化,从而与美国10月7日出台的一系列半导体出口措施保持一致。

外媒消息称,在具体的执行层面,即是禁止ASML向中国出售DUV浸润式光刻机,其先进程度比EUV光刻机落后一代,是制造7nm以上制程芯片的必备硬件。

事实上,早在11月下旬,荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔曾经警告称,美国不应指望荷兰毫无疑问地采取其对中国出口限制的做法,“荷兰不会一比一照搬美国(对华出口)的措施”。从此前荷兰官员的态度来看,荷兰不会跟随美国的脚步,在对中国光刻机的出口方面,荷兰有自己的评估。

国内此前多数业内人士认为,阿斯麦基于自身的利益诉求,也不可能屈从于美国的压力而放弃中国市场的巨额利润。现在看来,美国的态度占了上风,荷兰妥协了,暂时不清楚美国哪种说辞以及协议最终说服了荷兰,从DUV光刻机到EUV光刻机,荷兰都不再向中国出口。

这意味着,美国的管制范围扩大了,中国的光刻机自主研发或成唯一出路。而对于荷兰来说,可能更加严重的打击还在后头。

荷兰ASML的苦日子要来了

事实上,早在今年11月,光刻机巨头ASML宣布扩产EUV与DUV乃至于下世代EUV设备计划,根据ASML的计划,其年产能提高到90台EUV和600台DUV光刻机,并表示基于不同的市场情景,ASML预计2025年其年收入在约300亿欧元至400亿欧元之间,

这种扩产计划其实ASML在DUV不断供中国市场的预估前提之下的。因为在此之前,美国并没有限制ASML向中国出货DUV,仅仅让ASML禁售了更加高端的7nm以下的极紫外光刻机EUV。

而且荷兰外交大臣前段时间还放过狠话,不会一比一按照美国的禁令来。但从今天来看,荷兰最终还是服软了,也因此可以说,荷兰ASML的苦日子要来了,其增长扩产预期可能需要下调了。

首先中国市场的EUV与DUV完全断供,相当于封堵了一个增长最快,甚至未来需求最庞大的市场,利润的滑坡是可以预料到的。数据显示2021年第一季度,中国大陆从ASML采购的设备销售额占比从22%大幅上涨至34%,成为ASML最大市场。

此消彼长之下,未来ASML的增长预期其实依然需要越来越多的依赖中国市场。根据彭博社早前报到,受美国对华出口禁令影响,ASML今年第三季度订单减少,在阿姆斯特丹证交所的股价大跌。因为EUV光刻机,荷兰的损失是非常大的。

从目前来看,EUV到DUV完全封堵,这意味着荷兰光刻机的损失进一步扩大,说雪上加霜也不为过,ASML的苦日子可能还在后头。

因为芯片过剩,欧美对光刻机的需求在下滑。而整个2021年,ASML公司的光刻机在美国的销量累计下跌了20%。因为大客户砍单,台积电已经宣布关停部分EUV光刻机。从目前的情况来看,中国的芯片产业有庞大的需求,这意味着对EUV、DUV光刻机的需求还非常庞大。

ASML再一次为了美国的利益,牺牲了自己。在今天,欧洲面临的能源危机、俄乌冲突、通货膨胀形势都非常严峻,这些因素让欧洲经济走向非常不明确,对于欧洲国家以及欧洲的企业来说,越是困难时期,其实越需要更加开放自由的全球贸易来度过难关。

而荷兰是一个经济高度发达的国家,2021年荷兰人均国内生产总值(GDP)超过4.9万欧元,是欧盟平均水平(3.23万欧元)的1.5倍,其主营产业,就是高科技产业、金融业和旅游业,核心竞争力其实就在于以光刻机为核心的高科技产业。ASML对于荷兰,其实类似于三星之于韩国。


ASML的光刻机销售将持续遭受打击,
对荷兰的产业支柱将造成一定的影响,继而可能对荷兰的GDP与经济造成波及,形成连锁反应。

ASML其实因此陷入了台积电的困局,它被迫封锁了一个最大的客户与最大的潜力市场,未来的利润可高度依赖于美国少数的大厂。台积电当前已经不得不接受美国的任何条件,甚至将核心技术与产能迁往美国本土。

当营收大跌,手头客户需求大减,ASML未来还能继续维持它的全球垄断地位、高额的利润与营收吗?当营收断崖式下跌,它还有足够的投入去维持它的技术研发优势与技术升级迭代吗?这很难,但这是ASML当前也无力解决的现状。

从这个意义上说,ASML的苦日子还在后头。这或许也有不得以之处,毕竟,阿斯麦的前三大股东均来自美国。美国Cymer公司是全球唯一一家极紫外光源供应商,只要Cymer公司切断极紫外光源供应,ASML的EUV光刻机就造不出来了。ASML本身也受制于美国。ASML损失自身利益屈从美国,也有其身不由己之处。

靠自己,国内光刻机研发进展要提速了

在ASML的通路受阻之后,中国企业采购DUV光刻机的通路,还剩下尼康和佳能,但美国大概率也会向日本施压,日本可能也很难不屈从于美国,因此,向外采购这条道路将会变得越来越不确定,未来可能要完全靠自己了。

因此,在这种情况下,光刻机的自主研发的提速将变得迫切。笔者早前也指出,技术创新是由市场需求推动,现在中国庞大的半导体市场需求摆在这里,市场需求必然会驱动技术创新去逐步攻克光刻机技术,这个是时间问题。

在政策的大力扶持下,国内的光刻机厂家当前的人才、市场、利润相比以前均有很大提升。禁售反而为国内市场培局竞争真空环境。

在目前来看,上海微电子于今年通过了28纳米光刻机的技术检测和认证。但做光刻机的企业或许不止上海微电子一家,国产DUV光刻机进展还处于保密阶段,包括此前国内某大厂的光刻机专利曝光,其中涉及到一些保密的敏感内容,目前暂时并未对外界高调宣传,但是国产光刻机很多关键的部分都已经取得了技术突破这是没有疑问的。

国内企业和各科研单位对光刻机、EDA软件、光刻机胶等设备和材料进行了攻克,破局的拐点隐现,不过,因为ASML的断供,国内芯片市场需求又非常庞大,国内光刻机研发进展要提速了。

在今天,国产光刻机产业链正在走向完善,在双工件台、在光源制造方面以及光学镜头方面,都有相关公司取得了突破,从光刻胶再到光掩模版,光刻机缺陷检测设备,涂胶显影设备等,也都有相关的公司与产业分布。从目前来看,供应链企业还需要解决一些关键技术难题,深度整合国内的光刻机产业链,推动产业深度再向前走一步。

事实上,芯片制造设备和材料,在光刻机之外,还包括光刻胶,没有质量上乘的光刻胶,芯片也无法完成制造,在光刻胶领域,国内企业已经可以直接支持到7纳米工艺芯片的制造,在ARF光刻胶上,我们已经实现了全工艺覆盖的国产化,打通了DUV光刻机所需光刻胶的通路。

在过去,ASML一度在极力反对美国阻碍自己向中国出售DUV光刻机,执意要将DUV光刻机卖给中国。因为ASML意识到了中国在该领域的研发进度,如果现在不卖,以后可能就不需要了,但如果它可以继续向中国出售,那么中国因为有现成的光刻机可用,基于长期成本投入的压力,研发进度可能就会慢下来。

ASML的CEO温彼得曾表示,中国不太可能独立研制出顶级的光刻机,即便直接给图纸,也造不出来。而但后来温彼得开始改口,表示如果断供中国光刻机,3年内中国将会得到这个技术。

从今天来看,ASML被说服,倒向了美国一侧,也有其自身的不得已之处,美国或许也想要做最后一搏,在低端芯片市场也不给中国芯片的发展留空间。但事实上,这又何尝不是一个机会?

在过去,在ASML、尼康等巨头的光刻机自由出货之下,国内的产业自研,还需要担忧国际大厂的倾销模式。

以往在大飞机行业、光伏产业、维生素C领域的历史经验告诉我们,国内在该技术领域没有突破时封锁,已经突破并开始出货时候国外巨头就解禁扩产,加大出货,降价销售——你研发出来了,但价格没有竞争力,技术还没人家成熟,产品在市场上就没有竞争力了,这其实是过去国外品牌常用的降价倾销的方式,用来限制国产品牌研发投入与产品竞争力,导致产业的崛起被扼杀于萌芽之中。

如今的断供,其实恰恰断了国内的念想,也自动屏蔽了国外大厂倾销打压隐患,可以有一个相对较好的国产替代环境与市场。

因此,塞翁失马焉知非福,国产厂商也是时候发力自主研发,并将进程提速。中国在光伏、电动汽车、医药、大飞机、航空发动机,电磁弹射,北斗等等等诸多产业领域的经验其实印证了,技术封锁不妨碍国产替代能做到后来居上,关键是看是否对该领域的技术攻坚与脱贫有没有坚定的自主研发决心,以及断掉外界念想后能长期进行技术投入,中国光刻机产业的成功或许也能因为这样的契机,完成逆袭,我们拭目以待吧。

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