CS4800 提供高质量的 SEM 成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作，旨在提高现有生产线的生产力和运营效率，并提高客户的过程控制能力。此外，CS4800 可以配置为处理两种不同的晶圆尺寸，客户可以将其切换到新的晶圆传输系统。日立分析仪器计划扩大对碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 等各种晶圆材料的支持，以满足客户对新型半导体或电子设备的多样化需求。
随着 CS4800 的开发，日立分析仪器将为广泛的 4、6 和 8 英寸晶圆厂提供可持续的 CD 测量解决方案，并将支持物联网应用、可穿戴设备和下一代的新兴技术设备功率器件。
主要特点：
- 工具占用空间和 GUI *4旨在轻松更换现有工具。
- 提供经过验证的高精度测量和最新的计量应用。
- 自动光轴对准将减少操作员错误。
- 具有强大模式匹配的高吞吐量、自动化配方测量操作。
- 提供多种晶圆尺寸选项。
主要参数：
| 测量精度 | 1 nm (3σ)（使用日立标准晶圆） |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | 直径 100、150 和 200 毫米 |
| 自动装载机 | 2个端口 |
| 设备尺寸（主体）以毫米为单位 | 1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm |
