二手刻蚀机现货供应MATRIX SYSTEM ONE 106，1995年设备，可对4-6英寸的晶圆进行蚀刻工艺加工。
制造商:MATRIX
型号:SYSTEM ONE 106
类别:ETCHERS / ASHERS
年份:1995
晶圓尺寸:4"-6"
设备详细信息:
自动光刻胶剥离器，4“-6”
单晶片
单盒
微处理器控制的自动光刻胶剥离机
射频功率
温度
气流
基板位置
交错电极组件
蝶阀
相位幅度检测器
闭环控制
整体晶圆冷却站
卡盘温度的闭环控制
（2） 质量流量控制器（MFC）：1x5 SLPM和1x300 SCCM
晶圆销提升组件（上下）
范围：
钢带：150°C-250°C（±5°C）
温度：100摄氏度-150摄氏度（±5摄氏度）
1995年份。
