TEL / TOKYO ELECTRON UNITY EP蚀刻机用于化学气相沉积。TEL / TOKYO ELECTRON UNITY EP 与 8" 晶圆尺寸兼容。TEL UNITY EP 的应用包括为 CVD 金属和金属氧化物薄膜构建的化学气相沉积 (CVD) 系统,从而能够大批量制造最先进的艺术集成电路。
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