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AMAT等离子蚀刻机AME 8100用于反应离子氧化物、氮化物和抗蚀剂除渣的蚀刻。系统是配置为处理4英寸、5英寸或6英寸晶圆。系统是完整并处于良好的运行状态,附带大量备件。
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