ASML i-line光刻机PAS 5500/450F是i-line步进器系列的最新、最先进的产品之一。这种大规模生产工具是用于非关键应用的 PAS 5500/400 的继任者。该工具已扩展到i 线至 220nm。PAS 5500/450F 将可变 0.48-0.65-NA Carl Zeiss Starlith 4X 缩小镜头的成像能力与高速扫描台相结合,提供具有卓越拥有价值的高生产率工具,以实现最大产量。该系统完全可配置以满足生产要求,并在大批量生产环境中提供易于制造和成本效益。PAS 5500/450F 继续提高 200 毫米平版印刷市场的成像性能和生产力标准。