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ASML二手翻新i-line光刻机PAS 5000/40

发布日期：2022-06-15

ASML i-line光刻机PAS5000/40使用0.40NA i-line 镜头，像场直径为21.1mm。该步进器使用i-line工艺针对 0.7 微米以下的生产分辨率进行了优化。

ASML二手翻新i-line光刻机PAS5000/40

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