佳能KrF光刻机FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源，分辨率130nm，专为12英寸晶圆设计。
FPA-6300ESW 扫描仪配备了广角镜头
通过改变投影镜头的放大倍率（4:1 → 3.125:1），FPA-6300ESW扫描仪实现了更宽的曝光范围，而标线片尺寸保持在6英寸。
FPA-6300ESW是世界上唯一一款无需拼接即可曝光全尺寸CMOS图像传感器的 KrF 扫描仪，因为一次可以曝光33mmx42.2 mm。
*拼接曝光：通过连接两个或多个相邻曝光区域来增加曝光场大小的方法。相邻曝光区域的定位精度和对准直接影响良率。
FPA-6300ESW扫描仪源自久经考验的 FPA-6300ES6a平台
FPA-6300ESW扫描仪采用为支持前端 (FEOL) 半导体制造工艺而开发的技术，能够提供与FPA-6300ES6a扫描仪相似的利用率和可靠性。
FPA-6300ESW扫描仪还具有可扩展平台，允许现场升级以提高生产力和叠加精度。
