SCREEN二手清洗设备WS-820L，针对8英寸晶圆的高通量批量清洗系统可实现灵活的生产线配
特点：
1.传输类型
选择 WS-820L 用于 200 毫米晶圆并进行无载体转移处理。
2. 灵活的设计
系统可以根据应用自由配置。处理槽配置最多可包含 13 个槽。
3. 高吞吐量
可以安装多个浴槽，最多可以安装六个传送机器人，以确保高吞吐量。
4. 高品质加工
优化的加工槽设计、严格的化学品管理和清洁的干燥装置有助于稳定、高质量的加工。
5. 丰富的周边设备阵容
提供多种外围设备，包括晶圆传送单元和盒式储料器。
6. 水印的预防
可安装低压干燥装置以减少水印并确保干燥清洁
